电子工业用气体砷化氢GB/T 26250-2010

2013-08-29 | 浏览: 评论: 0 收藏

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1范围
本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。