电子工业用气体 六氟乙烷 GB/T 34091-2017

本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。

   本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。