电子工业用气体三氟甲烷 GB/T 34085-2017

2017-10-20 | 浏览: 评论: 0 收藏

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本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

分子式：CHF₃。
相对分子质量：70.013(按2011年国际相对原子质量)。

电子工业用气体 三氟甲烷 GB/T 34085-2017