电子工业用气体 三氟化氮GB/T 21287-2007

1 范围
本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氯化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洁剂。