微电子生产设备安装工程施工及验收规范GB 50467-2008

2013-06-20 | 浏览: 评论: 0 收藏

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1 总则
1.0.1 为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量和可靠运行，促进微电子生产设备安装技术的发展，制定本规范。
1.0.2 本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及生产。